单轴MEMS偏航陀螺仪结构应用分析

　　与ST的MEMS加速计类似，MEMS陀螺仪也沿用一个系统级封装(SIP)方法，机械感应元器件与其调节ASIC电路放在同一个封装内。

　　智能设计方法结合先进的封装解决方案使得该系列产品的封装尺寸大幅缩减，多轴陀螺仪的系统封装面积仅为3x5 mm2 ，最大厚度仅为1mm (图3)。

　　图 3:采用超小LGA封装的多轴陀螺仪。

　　意法半导体为客户提供多轴感应、30dps到6000dps量程的各种陀螺仪传感器，让系统设计工程师能够解决不同的应用需求，从图像稳定器到游戏，从指向装置到机器人控制。

　　除上述传统应用外，整合加速计和陀螺仪可以实现导航解决方案的惯性测量单元。换句话说，平台开发商可利用最新的MEMS技术，将惯性传感器与较传统的GPS系统配合使用，能够在卫星信号很弱的高楼林立的市区或根本没有信号的室内或地铁环境中提供导航服务。在不久的将来，准确的方位信息与服务厂商提供的附加中间数据将会整合在一起，并显示在用户的手机显示屏幕上，这种定位关联服务将会为手机用户带来好处，例如，手机用户可以获得位于某一个购物中心内的所有商铺的准确信息，找到想要购买的产品的方位提示，接收根据用户兴趣订制的商品特价和打折信息。

　　整合MEMS加速计和陀螺仪地磁的模块正在进入廉价的电子玩具市场，传感器模块提供的动作感应功能可实现互动的游戏体验，还能让更小的儿童上网分享快乐：孩子们很快就能够创造自己的虚拟娃娃和人物，用自然的动作玩这些玩具，不再使用按钮或键盘一类的东西，甚至可以在网上与全球的小朋友一起分享游戏。

　　结论：就像几年前加速计的成功故事一样，意法半导体最近掀起了MEMS陀螺仪消费浪潮，为市场提供一系列可靠的低廉的微型陀螺仪，增强多种消费电子产品运动跟踪功能，实现现场感更强的用户体验。凭借在MEMS技术、ASIC设计和更智能的封装技术上不断取得的进步，结合最先进的生产线和战略合作伙伴关系，意法半导体进一步加强了其MEMS传感器在消费电子和手机市场的领导地位。