传感器的基本物理效应
表1 一些物性型传感器的基础效应
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检测
对象
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类型
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所利用的效应
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输出
信号
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传感器或敏感元件举例
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主要材料
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光
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量子型
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光电导效应
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电阻
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光敏电阻
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可见光：CdS, CdSe |
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红外：PbS, InSb
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光生伏特效应
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电流
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光敏二极管、光敏三极管、光电池
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Si, Ge, InSb(红外)
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电压
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肖特基光敏二极管
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Pt-Si
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光电子发射效应
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电流
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光电管、光电倍增管
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Ag-O-Cs, Cs-Sb
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约瑟夫逊效应
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电压
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红外传感器
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超导体
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热型
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热释电效应
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电荷
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红外传感器、红外摄像管
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BaTiO
3
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机
械
量
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电阻式
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电阻应变效应
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电阻
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金属应变片、半导体应变片
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康铜，卡码合金，Si
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压阻效应
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硅杯式扩散型压力传感器
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Si, Ge, GaP, InSb
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压电式
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压电效应
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电压
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压电元件
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石英，压电陶瓷，PVDF
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正、逆压电效应
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频率
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声表面波传感器
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石英，ZnO+Si
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压磁式
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压磁效应
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感抗
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压磁元件；力、扭矩、转矩传感器
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硅钢片,铁氧体,坡莫合金
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磁电式
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霍尔效应
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电压
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霍尔元件；力、压力、位移传感器
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Si, Ge, GaAs, InAs
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光电式
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光电效应
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电流
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各种光电元件；位移、振动、转速传感器
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CdS, InSb, Se-化合物
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光弹性效应
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折射率
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压力、振动传感器
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各种透光弹性材料
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温
度
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热电式
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赛贝克效应
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电压
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温差电偶
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Pt-PtRh10,NiCr-NiCu,Fe-NiCu
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约瑟夫逊效应
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噪声
电压
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绝对温度计
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超导体
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热电效应
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电荷
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驻极体温敏元件
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PbTiO
3, PVF
2, LiTaO
3
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压电式
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正、逆压电效应
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频率
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声表面波温度传感器
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石英
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热型
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热磁效应
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电场
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Nernst红外探测器 |
热敏铁氧体，磁钢
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磁
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磁电式
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霍尔效应
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电压
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霍尔元件
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Si,Ge,GaAS,InAs
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霍尔IC、MOS霍尔IC
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Si
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磁阻效应
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电阻
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磁阻元件
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Ni-Co合金，InSb,InAs
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电流
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二极管、磁敏晶体管
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Ge
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约瑟夫逊效应
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电流
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超导量子干涉器件(SQUID)
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Pb,Sn,Nb,Nb-Ti
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光电式
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磁光法拉第效应
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偏振光
面偏转
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光纤传感器
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YIG, EuO, MnBi
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磁光克尔效应
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MnBi
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放
射
线
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光电式
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放射线效应
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光强
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光纤射线传感器
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Ti-石英
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量子型
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P- N结
光生伏特效应
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电脉冲
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射线敏二极管
二极管
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Si, Ge
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Li-Ge, Si, HgI
2
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肖特基效应
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电流
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肖特基二极管
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Au-Si
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