热式质量流量计基本原理浅析
集成热膜敏感元件具有灵敏度高，几何尺寸小，动态响应快等优点。这种微型传感器稳定性好，精度高，压损小，一致性好，可进行批量生产。
2.4 薄膜铂电阻敏感元件
薄膜铂电阻的制作与热膜敏感元件基本类似，即将金属铂在真空条件下，采用溅射的方法沉积于陶瓷或玻璃基片上，并经刻划、引线、涂釉、烧结退火等工艺制成。
薄膜铂电阻作为一种新型的测温元件，具有尺寸小、响应快、易于与集成电路相匹配的特点，且具有测温范围宽、精度高、线性好、性能稳定等优点。目前广泛应用于化工、能源、机电、航空航天、国防等各领域中温度测量和控制及温度补偿。
根据实际情况及相关课题的研究，本论文中采用薄膜铂电阻作为热膜敏感元件，其温度特性将在第四章进行详细的实验研究。
3 热式质量流量计的工作模式
目前，在工业中使用的热式质量流量计的传感电路工作模式基本有两种类型：恒流型和恒温型。
3.1 恒流工作模式
典型的恒流风速计是由惠斯登电桥和R－C补偿电路构成。在恒流工作模式，敏感元件工作温度（电阻）是变化的，但流过敏感元件的电流是不变的。这样，就可以通过检测敏感元件的温度变化，确定被测量介质的流速。
恒流工作模式的风速计存在的热滞后效应，所以必须对恒流风速计动态响应进行补偿。恒流流速计的热滞后效应大，电子补偿困难多，难以适应热膜技术的使用需要，特别是补偿本身还必须随流动速度而变，致使实际使用上存在着诸多不便，因而恒流流速计的发展实际上困难重重，发展速度缓慢。同时，由于恒流风速计存在使用不方便，随着速率的增加输出信号减小以及敏感元件容易受到损害等问题，所以恒流型工作模式现在一般很少采用。
3.2 恒温工作模式
恒温型风速计主要也是由一个惠斯登电桥构成。在恒温工作模式，敏感元件工作在恒温条件下（电阻不变）。利用反馈控制电路使热线温度和电阻保持恒定。热线是作为电桥的一臂而存在的。当加有电流的热线置于流场当中时，由于流体流动的关系，热线温度将发生改变。这种改变立即导致电桥偏离平衡，从而输出不平衡信号。这个不平衡信号经放大以后又反馈到电桥中，以抑制热线的温度改变，补偿热线电阻的变化，从而使电桥恢复平衡，使热线温度和电阻保持恒定。
由于恒温型测量电路易于使用，频率响应高，低噪声等一系列优点，所以本课题的测量电路采用恒温型电路。
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