用激光平面千涉仪测量光学平板玻璃的平行差

　　这种方法首先在光胶玻璃上涂腊，在涂腊过程中，应尽可能在垫板中心和四周留有透光的部分，如图8中所示黑的部分就是留透光孔的地方。调整干涉仪，使其标准平面

　　与垫板上表面发生的干涉条纹中调整到与垫板中心重合(图中黑色线表示干涉条纹，垫板的干涉条纹就是留出的小孔部分)。然后观察零件表面的千涉条纹，看其中心偏向那边。如果垫板零件表面都是低光圈时，心在那边，那边薄，背向即为厚端。最后修至垫板和零件表面干涉条纹成同心圆。

　　如果垫板光圈呈直线，即N0.1时，光圈圈不起来，无法对中心，这时只需把垫板光带调成最宽状声，中心已不见光带，只见一片均匀光，只能从边缘四个小孔中看到一点光带，见图9。此时垫板表面和标准平面的干涉条纹接近平行，即相当对准了中心。然后观察零件表面干涉条纹心偏向那边，那边为薄，然后压厚的一方继续修整。直至垫板条纹与零件条纹重合，就证明垫板表面与零件表面是平行状态，如图10所示。

　　此时即可下盘，一般4护以下是能够保证的。如果光胶时无尘，而且零件第一面光圈很好，N0.1，这时有的平行差可高至l“~2“。上边所讲都是垫板和零件表面是低光圈的现象。如果零件表面是高光圈时，薄厚端正好相反，见图11所示。心向的便是厚端，背向即为薄端。

　　从图12中可以可看出，由于零件表面高光圈，中心厚，应采取降光圈的方法，直至改至图13所示的情况

　　以上几种情况还可以此类推，如一面是高光圈，一面是低光圈，还要看那面高多少，那面低多少等。总之由于两个表面各点光程差不等，呈现出相应的干涉图样，通过对图样的观察、分析，具体情况具体对待。