双频激光测量系统及其在lC加工设备中的应用

　前言

　　IC加工设备例如电子束曝光机、图形发生器以及投影光刻机中的精密定位x一y工件台系统，实际上是带有座标测量的双向定位工件台系统，工件台系统的定位精度直接影响图形加工精度。众所周知，工件台系统精度是机械结构精度和测量系统精度的综合，精密定位工件台的座标测量方法普遍采用激光干涉仪法。因此在设计合理的工件台机械结构的同时，必须合理选择高精度、高速度和高可靠性的测量系统。美国HP公司生产的5501型双领激光侧量系统普遍地应用于IC加工设备中。表1列出几种电子柬曝光机、投影光刻机以及图形发生器中采用双频激光测量精密定位工件台的技术指标。

双频激光测量系统的特点

　　以往采用的单频激光测量系统是一个直流测量系统，接收器接收到的信号是激光相干后产生的光亮暗变化条纹，前置放大器采用直流放大器，该系统必然存在直流光平和直流电平的漂移问题，抗干扰性差，工作不稳定.采用双频激光测量系统，激光束是包含有两个频率f1和f2且幅值相等的光束，.分别表示为：

　　脉冲数N。由以上分析可见双频激光测量系统实际上是一个交流测量系统，前置放大器可采用高倍率的交流放大器，因此无零点漂移，抗干扰性好，工作稳定，光强衰减到90%仍然能得到所需要的信号。国内外IC加工设备广泛采用美国HP公司生产的5501型双频激光测量系统，作为精密定位x一y工件台的位置测量系统。