提升产业链竞争力 中国掩模版迈向高世代

　　从表面上看，第8代和第5代掩模版的精度要求相当，但8代掩模版尺寸为 1220mm ×1400mm，面积特别大，达到1.7m 2，是第5代掩模版面积的4.1倍，因此实现同等的技术指标的难度系数要大很多，这在CD精度、TP精度、缺陷等三大技术指标上都有所体现。

　　从CD精度来看，第8代掩模版面积约为第5代掩模版面积的4倍，但图形关键尺寸的绝对精度误差指标仍为小于±0.35μm，面积增大之后，CD精度要满足要求，其工艺难度就随之增大。

　　从TP精度来看，虽然TP绝对精度指标要求都为小于±0.50μm，但根据其实际长度和面积换算，第5代掩模版等比允许其位置精度累计在90nm/100mm左右的水准，而第8代掩模版等比仅允许位置精度误差累计在40nm/100mm左右的水准，精度要求提升了一倍。

　　从缺陷指标来看，第8代掩模版面积大，因此缺陷概率肯定增大，工艺控制难度增加。

　　迈向高世代促进产业链发展

　　目前全球TFT-LCD用掩模版供货厂家主要为日本的HOYA、SKE，韩国的LGMi-cron、PKL，以及我国台湾地区的AIPC公司。在中国大陆，清溢光电在成功研制5代TFT-LCD用掩模版后，成为全球第6家具备TFT掩模版生产能力的厂家。

　　就销售额来说，HOYA在掩模版市场上处于主导地位，占全球份额的28%。其他如SKE和韩国LGM、PKL由于积极开发大尺寸掩模版，也占有了相当大的份额。中国大陆的掩模版产业尚处于起步阶段，但由于大陆面板产业的蓬勃发展，给清溢光电带来了前所未有的机遇，清溢光电所拥有的成本和本地化的优势都将使其市场占有率得到很大提升。

　　清溢光电作为中国大陆第一家专业掩模版公司，与国外同行相比，清溢光电TFT-LCD用掩模版在国内竞争优势明显。通过发挥政策优势、价格优势、成本优势、服务优势、区域优势和品牌优势，构建清溢光电的竞争策略，预计2014年可实现销售收入5亿元。

　　在国家对彩电产业结构进行调整的背景下，在打造相对完整的平板彩电产业链的目标引导下，清溢光电将在已量产的第 5代TFT-LCD掩模版生产线的基础上，建设国内首条第8代TFT-LCD用掩模版生产线项目，这将避免国内第8代TFT-LCD用掩模版依赖进口，对于促进我国TFT-LCD产业链的发展、提升产业链竞争力具有重要的战略意义。该高世代掩模版项目将带动石英玻璃基材、保护膜、平板显示器件生产专用设备等上游产业发展，并推动下游彩色滤光片、液晶面板技术的进步。