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微机械式惯性传感器已经成为许多消费产品的一个组成部分,比如手持式移动终端、照相机和游戏控制器等。此外,微机械式惯性传感器还被广泛用于工业、汽车安全和稳定控制以及导航领域中的振动监测。一般来说,微型传感器可以是压电式、压阻......