MEMS将迎来第三次发展浪潮

MEMS制造厂与CMOS制造厂的工艺革新。

　　Yolo给出了MEMS的新兴和衰落图(图7)，以及2009-2015年间新兴百万美元价值MEMS预测(图9)。

　　成功的必备条件

　　新兴MEMS的特点是，达到成熟的速度较以往更快(表1)。

　　Bosch Sensortec公司介绍了MEMS的成功经验。CEO Frank Melzer说，今天要保持增长需要供应商具有多种不同的技巧。由于竞争激烈，因此这越来越成为一种最高效技术和相关服务上的竞争。提供某种也许能够满足应用需要的产品显然是无法保证获得商业成功的。今天重要的是要有一整套的产品和相关的软件支持，使客户能够选择其特定需求的最佳解决方案。对有效的系统集成而言，投资组合之内产品的兼容性及实现结果的可转移性至关重要。如果产品批量大，且客户产品平台的生产提升快，则诸如可靠但灵活的供应能力及完美的产品质量等因素将成为客户获得经济成功的一项非常重要的因素。这说明，MEMS供应商中成功的公式中包含着多个要素，其中最重要的要素是基于技术卓越、对应用的深度理解及完美的产品质量之类的传统技巧，以及通常有效的“贴近并理解客户”的理念。

　　同时，材料、工具平台等企业也需要配合形成一条完整的产业链。据美国应用材料公司200mm产品与改进部Jack Blaha介绍，该公司在MEMS新材料、制造方面不断探索，包括铝材料，制造的pvd和cmp制程。

　　MEMS融合了机械、微电子、化学等方面的技术，因此人才稀缺，为了解决MEMS设计问题，Coventor公司销售和市场副总裁Eric Eisenhut介绍说，该公司提供从MEMS IP、验证、工具库到MEMS平台的多种服务。

　　参考文献：

　　[1] 2010全球电子峰会:MEMS is Hot(上)[C].(2010-4-27). http://v.eepw.com.cn/video/play/id/1221

　　[2] 2010全球电子峰会:MEMS is Hot(上)[C].(2010-4-27). http://v.eepw.com.cn/video/play/id/1222

　　[3]迎九.时钟出现全硅化和绿色动向[J].电子产品世界,2010(6):73

　　[4]王莹.电子高峰会议(4):3D视频、MEMS、ASIC/模拟IC设计工具关注[R/OL]. (2010-4-28).http://wangying1.spaces.eepw.com.cn/articles/article/item/77700

　　[5]周智勇.从嵌入CMOS MEMS振荡器展望IC设计的潜在变革[J].电子产品世界2007(1):113