ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究 作者: 时间:2012-05-31 来源:网络 收藏 根据理论分析和软件仿真,在没有等离子体时,射频电源已经和负载阻抗实现了阻抗匹配。当射频电源的功率为30 W时,等离子体虽然能启辉,但光亮很暗,此时反射功率为10.2 W,反射系数模值为0.33,反射系数模值比较高,系统处于失配状态,继续调整匹配网络的参数,使系统的反射功率降低直至零。如图3所示,此时射频电源显示反射功率为0,正向功率为30 W,反射系数Γ=0,能量全部为负载吸收,系统处于匹配状态,等离子体发出耀眼的光。如图4所示。本文引用地址://m.amcfsurvey.com/article/154774.htm 上一页 1 2 3 4 下一页
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