基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

对于悬臂梁结构的硅微型加速度传感器，在其它结构尺寸相同的情况下，梁的厚度对加速度传感器的灵敏度影响最大，基本上是反比的关系。这是由于在同样的载荷下，梁厚与应力大小成反比，而应力大小直接影响灵敏度，应力越大灵敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比设计值偏差较大，故其测试灵敏度比设计值小，如表3所示。

在质量块尺寸一定的情况下，梁的长度与灵敏度成正比，梁的宽度与灵敏度成反比。在梁的尺寸一定情况下，质量块的质量与灵敏度成正比。

6 结束语
对制作的加速度传感器样品，在马希特击锤上进行了大量地冲击标定测试，测试结果表明：设计和加工制作的加速度计样品在进行加速度的冲击时，有较好的信号输出，单臂梁结构的加速度计的灵敏度为1 μV／gn；双臂梁结构的加速度计的灵敏度为1．6μV／gn，与理论设计值基本吻合。