利用MEMS制作微型携带用燃料电池组件

除此之外研究人员应用溅镀技术在Porous Silicon表面制作触媒电极，D·Arrigo与Hayase氏则以电解电镀法取代溅镀技术，试图获得更高性能的触媒电极。

使用网版印刷技术将白金Carbon Paste图案化制成触媒电极的Pichonat氏将质子(Proton)传导性树脂?(Nafion, Du-PONT)浸泡于Porous Silicon，再将它当作PEM制成微型燃料电池；Gold氏则将Porous Silicon浸泡于硫酸制成PEM，一连串繁琐加工主要目的希望PEM不易受到生成水或是甲醇膨润，进而防止PEM剥落。

图9 Cell串联连接方式

结语

以上介绍利用MEMS技术制作阀、改质器、喷射器等微型燃料电池组件，以及微型燃料电池的发展动向。

目前可携式电子产品大多使用锂离子电池或是镍氢电池，不过传统充电电池的能量密度极限以及恼人的充电时间，造成使用自由度受到大幅限制，因此微型燃料电池的发展受到全球高度重视，其中又以日本厂商最积极。事实上已经有部份行动电话已经开始使用微型燃料电池，一般认为随着次世代行动电话问世，未来微型燃料电池势必成为可携式电子产品主要电力来源。