掺硼p+-Si外延层厚度的测试方法

(4)用水将样品冲洗干净。

4测试过程

(1)将待测样品与载片块贴在一起放到金相显微镜的载物台上，样品断面垂直于物镜。图2(a)给出了样品断面腐蚀前正面观察示意图。图2(b)给出样品断面腐蚀后侧面观察示意图。

(2)调节金相显微镜，直到目镜中出现如图3所示的外延层与衬底的界面。



(3)转动金相显微镜测微尺中的标线，直到目镜中的标线与外延层的一边重合，此时将显示表读数复位。

(4)再次转动金相显微镜测微尺中的标线，直到目镜中的标线与外延层的另外一边重合，此时显示表上的读数即为外延层的厚度。

5结果分析

采用上述方法本文对几种厚度的样品进行了测量。结果表明，该方法具有一定的准确度，表1给出了采用磨角染色法测量的外延层厚度与采用本方法测量的结果对比。



从表1可以看出，采用该方法进行外延层厚度测量时，测量结果与采用磨角染色法测量的外延层厚度的结果比较吻合。

在样品腐蚀过程中，由于样品的断面为<110>晶向，因此，衬底层断面的腐蚀速率很快，通常在较短的时间内即腐蚀出台阶。

6结论

与磨角染色法相比，本文所提出的p+-Si外延层厚度的测量方法简单易行，可以测量p+／p结构的外延层厚度，且该方法具有一定的准确度。该方法可以作为外延工艺的检测手段，以加强对外延过程的监控；并且该方法仅适用于高浓度掺杂的p型外延层厚度的测量，B掺杂的浓度不小于5×1019cm-3。