一种硅压阻式压力传感器温度补偿算法及软件实现

软件设计流程图3所示。

3 实验结果与误差分析

实验选用压力传感器量程为0~800 PSI,工作温度范围在-55~125 ℃，标准压力源采用美国Mensor公司的PCS400,高低温箱提供各种温度测试环境。测试时依次取-20 ℃，25 ℃，50 ℃，75 ℃，100 ℃，75 ℃，50 ℃，25 ℃，-20 ℃温度点进行高低温实验，每个温度点下提供标准压力值16 PSI,200 PSI,400 PSI,600 PSI,800 PSI,600 PSI,400 PSI,200 PSI,16 PSI,测得静态压力传感器输出特性如表1 所示。采用5阶温度补偿模型对静态数据进行温度补偿后得到的结果如表2所示。

实验数据表明，压力传感器建立高阶温度补偿模型可以实现其零点漂移和灵敏度漂移的统一补偿，补偿后传感器输出值与标准值最大误差为：

4 结语

采用高阶温度补偿方法对硅压阻式压力传感器的零点漂移和灵敏度漂移进行统一补偿。由实验数据可知，这种方法可以对硅压阻式压力传感器温度补偿效果明显，能够很好的提高压力传感器的输出线性性，通过硬件可以实现传感器实时数字温度补偿，具有一定的工程应用价值。但是这种方法也存在某些不足：对于实验数据离散量比较大的情况下，高阶温度补偿模型会对个别数据点补偿效果不理想。针对这个问题可以采用插值法和引入权函数方法结合起来进行进一步改进。