MEMS传感器的发展概况

趋势一：消费电子领域的普及将成为MEMS实现爆发式增长突破口

惯性传感器已经成为了智能手机、平板电脑和可穿戴设备的标配，并且其他各种类型的MEMS传感器在消费电子领域的应用正在逐步普及。仍在研发的新产品也都在手机等消费电子领域试水，未来将有更多的MEMS器件进驻消费电子产品，地磁场传感器、射频器件等高端产品也将逐渐扩散到中低端产品中去。

趋势二：多传感集成技术的成熟将成为MEMS功能优化关键性节点

传感器感测多个物理信号的功能需求变得越来越多，多种传感集成的MEMS器件在满足生产厂商更小体积、更低成本的要求的同时，给予了用户更加丰富的用户体验。密闭封装集成传感器、开放腔体集成传感器和光学窗口集成传感器这几大集成方向无论从生产端还是用户端都在逐渐满足越来越多新出现的需求。

趋势三： MEMS生态系统的建设将进一步得到完善

各种传感器将与其它电子组件集成，并结合相关软件，使得系统集成商更容易使用，为情境感知应用奠定基础。

市场战略正在转向建立一个生态系统，让系统集成商很容易为其产品增加一些智能传感器功能（如图6）。这就意味着需要整个供应链的合作，注重嵌入式智能传感系统的硬件集成和软件开发。

3 中国MEMS行业发展瓶颈

目前中国企业多数还在从事单个器件的开发及产业化工作，产品技术开发能力有待于进一步积累及提升。我国的MEMS设计环节迫切需要企业的自主创新产品来推动产业的发展。

“一种产品、一种工艺”。新产品的开发要求必须与工艺紧密配合，目前产业界尚缺失先进的用于研发与中试的创新平台；需要在制造平台上固化较少的几个相对标准的工艺来满足各种传感器的批量制造需求，因此需要相对标准的制造工艺的开发；目前晶圆代工厂的MEMS及制造工艺能力尚在逐步提升中。

产品多样性及要求差异性，导致封装约占据了总成本的1/2；测试不仅仅是电信号，还包括各种物理信号，面对海量应用，必须实现自动化大产能测试；目前还没有建立起针对MEMS批量封装和测试能力，缺乏通用的测试平台。

4 MEMS传感器产业的发展建议

有关MENS传感器产业的发展，赛迪建议：紧抓中国物联网市场，精准规划产品定位，开拓进军国际市场渠道；加快技术产业化进程，全力推进重点产品，借助优势领域实现产业突破；依靠产业链协同发展，打造产业生态体系，突破技术及产业壁垒。

对于突破技术及产业壁垒，赛迪建议：

● 制造与研发是MEMS企业使产品具有较强竞争力的核心能力；

● 企业应按照产品市场份额的增加，分阶段投入MEMS制造生产线，以降低成本提高市场竞争力；

● 分析市场与机会时，按照对技术难度、潜在市场的分析，以及参考目前国内产品研发情况；

● 加强MEMS产品产业链企业之间的合作关系，建立稳定的供销体系；

● 健全而完善的产业链体系为国内MEMS产业开拓市场、铺垫发展道路的根本保障。

本文来源于中国科技期刊《电子产品世界》2019年第1期第4页，欢迎您写论文时引用，并注明出处