硅片级可靠性测试详解

　　除了以上说提到的这些测试项目以外，还有氧化层中可动离子的测试也是目前非常关注的一个项目。

　　结语

　　随着工艺改进速度的不断加快，硅片级可靠性的重要性越来越被体现出来。它可以快速的反映出工艺条件的变化对可靠性的影响，把可靠性整合在工艺开发的整个过程当中。本文在分析硅片级可靠性测试的重要性的基础上，介绍了硅片级可靠性所涉及的各个项目。同时，对各个项目的测试和评价方法也做了详细的分析。通过对硅片级可靠性测试的现状分析可以看出，其测试方法、测试速度及准确性等方面还需要不断改善和提高。