降低成本提高效率 MEMS动态晶圆测试系统

ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一个MEMS电容的加速度计通过两种生产流程来制造。一种流程使用传统的晶圆测试方法，而另外一种流程使用动态晶圆测试方法。STI3000动态晶圆测试的数据使得最终器件级测试的合格率提高了40%。