ITO导电玻璃基础知识
ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。
在溅镀ITO层时,不同的靶材与玻璃间,在不同的温度和运动方式下,所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些,更容易出现“麻点”现象;有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带,ITO层在蚀刻时,更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带;另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。
ITO导电层的特性:
ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下,氧化铟透过率高,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO具有很强的吸水性,所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质,俗称“霉变”,因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应,形成其它导电和透过率不佳的反应物质,所以在加工过程中,尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。
ITO层由很多细小的晶粒组成,晶粒在加温过程中会裂变变小,从而增加更多晶界,电子突破晶界时会损耗一定的能量,所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高,电阻也增大。
ITO导电玻璃的分类:
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500奥姆)、普通玻璃(电阻在60~150奥姆)、低电阻玻璃(电阻小于60奥姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。
ITO导电玻璃按尺寸分,有
ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。
影响ITO玻璃性能的主要参数:
长度、宽度、厚度及允差(±0.20)
垂直度(≤0.10%)
翘曲度(厚度
微观波纹度
倒边
C倒边(
R倒边(
倒角(浮法方向2.0mmX
SIO2阻挡层厚度(350埃±50埃,550nm透过率≥90%)
ITO层光学、电学、蚀刻性能(蚀刻液:
表1-1
化学稳定性:
耐碱为浸入
耐酸为浸入
耐溶剂为在
附着力:在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下,膜层无损伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻变化值不超过10%。
热稳定性:在
外观质量:
裂纹:不允许。
粘附物:包括尘粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过
沾污:不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。
崩边:长X宽≤2.0mmx
划痕:见表1-2。表1-2
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