激光测量在数控机床定位中的应用
（4）待激光预热后输入测量参数。
（5）按规定的测量程序运动机床进行测量。
（6）数据处理及结果输出。
3．测量误差分析
用双频激光干涉仪检验数控机床定位精度的测量误差主要来源及分析如下：
3.1双频激光干涉仪的极限误差
其中L为测量的长度（单位：m）
3.2安装误差
它主要是由测量轴线与机床移动的轴线不平行而引起的误差，则有：
式中：L为测量的长度；
θ为测量轴线与机床移动的轴线之间的夹角。
由于光路准直，θ值趋于0，故此项误差忽略不计。
3.3温度误差
它主要是由机床温度和线膨胀系数不准备而造成的误差，则有：
式中：L为测量的长度（单位为m）；
δt为机床温度测量误差；
α为机床材料线膨胀系数；
δα为线膨胀系数测量误差。
从上面分析可以看出，在各项测量误差中，温度误差对测量结果的准确性影响最大，所以，为了保证测量结果的准确性，测量环境温度应满足20±5℃，且温度变化应小于±0.2℃/h，测量前应使机床等温12h以上，同时要尽量提高温度测量的准确度。另外，如果测量时安装不得当，由安装所造成的误差也是不可忽略的。(end)
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