使用白光干涉仪过程中的疑问

19、问：该设备光源的中心波长是多少？

答：该设备 光源为白光，也是可见光，其波长范围是可见光的波长范围在0.77～0.39微米之间。

20、问：工作台部分可倾斜一定角度有何作用？

答：只是提供初步的水平调整用，可是只有SIS-1200Plus 有此功能，自动机台是没有的。

21、问：横向分辨率和纵向分辨率为何有差别？

答：纵向分辨率是固定的而且很高，横向分辨率在不同倍率下是不同的，他们检测原理也是不同的。

22、问：该设备有几种软件界面？

答：有两款软件界面，一款测量软件，一款为分析软件

23、问：该设备手动和自动如何区分？

答：Stage不同，控制程序可以设定planning，自动判定等等，看如何运用。

24、问：测量产品时机台因气浮式隔离，可能会晃动，是否会对测量产生影响？

答：隔离器的作用就是防止震动，因该设备为纳米级的设备，所以外界轻微的震动都会对测量造成影响。在使用过程中呢，如果没有通气，您会明显看到干涉条纹的晃动，但是正因有此气浮隔离器的存在，所以当外界存在震动时，花岗岩平台是稳定的，当然如果你刻意的推动花岗岩工作台时，肯定对测量有影响了。

25、问：变换镜头倍率是否需要重新校正，在不同倍率其重复性是否相同？

答：变换倍率后不需要重新校正(使用之前有校正过，倾斜工作平台，粗调精调等部件没有被动过，一般在变换倍率后不需要重新校正。

26、问：扫描方向对测量有无影响，是否固定为从上往下或从下往上？

答：一般都是从上往下扫描。

27、问：PZT是什么，其作用是什么？

答：PZT是压电陶瓷驱动器，产生相位移，使得干涉条纹间的相位变化(360度)可计算得每一度相位变化处的相对高度，大幅提升量测分辨率。

28、问：白光干涉仪是否需要每次开机校正？

答：不需要每次开机校正，校正OK后，只要没有经过搬动或工作台做新的调整，一般都不重新校正，这也是该设备的一个亮点。

29、问：改产品纵向扫描范围是150微米，如果扫描更大行程尺寸，是否可以分段扫描在叠加在一起？

答：是不可以的，如果产品尺寸在纵向超过150微米，是不能测量到的。

30、问：有一个产品有100mm*50mm，用该设备只能扫描很小区域，如果扫描整个平面的粗糙度，是否可以？

答：因为此类设备是纳米级设备，主要测量产品的微观尺寸及表面等特征，所以测量的一般都是很小的点区域，但是对于此设备的概念及一般客户的需求，这样大小区域各种特征的测试已经足够，至于像您提到的100mm*50mm大小的整个平面的平面度是无法测量的，不过可以多测量一些点，做为参考。

31、问：线上设备主要用来测什么呢？

答：线上设备主要也是检测彩色滤光片上的 photo spacer的高度，还有就是彩色滤光片与TFT基板贴合对位的检测。
32、问：该设备可否测涂层厚度，涂层如果有多层，是否必须进行破坏，基准面怎么选取？

答：可以测量涂层厚度，如果有多层的话，必须在不同层间形成台阶，方可检测，如果不同层间为透光材质，理论上也可试测。

33、问：该设备工作台可以承重是多少？

答 ：一般5公斤的承重是没问题的。

34、问：该设备一般多产品的反光率要求是多少？

答：对产品的反光率要求一般要大于4%.

35、问：该设备在Z轴方向上的扫描范围只有150μm，但我司产品有300μm，请问贵司产品可以测吗？

答： 如果有要求这样的扫描范围， 我们可根据您的要求来订做，因为对于这样的设备，扫描范围超过100μm已经很大，而且以我们以往客户使用情况来看，超过150μm 很少会使用到。

36、问：该设备的运动精度是多少？

答 ：Z轴方向上的运动精度是2个μm，X、Y轴是5μm .

37、问：请问该设备扫描面积与视野大小是相同的吗？

答：扫描面积与视野的概念在此设备上是等同的，可以为客户截图进行说明。(end)

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