利用触发同步源表进行VCSEL测试

图 7‑30 测试多个VCSEL

测试系统中的仪器是通过Trigger Link电缆（较新的Keithley仪器中采用的一种硬件握手总线）进行连接的。当源表和开关主机通过Trigger Link连接时，它们能够彼此触发，可更快地进行测试。利用这种内置的总线，大多数系统功能就无需PC的直接控制。Trigger Link有6根触发线，利用该触发总线可最多控制6台仪器。

Trigger Link有两种工作模式：同步和半同步。在同步模式下，输入和输出触发使用独立的触发线；而在半同步模式下，输入和输出触发采用相同的触发线。7001/7002型开关主机上有两个Trigger Link连接器。在2400型源表上有一个Trigger Link连接器，#1触发线出厂默认为输入触发，#2触发线为默认的输出触发。

如图 7‑31所示，源表可在“源－延迟－测量”（SDM）周期的每一阶段的开始或末尾接收和发送触发。SDM周期表示打开源信号，执行一个可编程的延迟，然后进行测量。

图 7‑31 源表输入/输出触发

对于这种应用，采用同步触发来控制以下的时间顺序：

通过前面板的按钮或发送到7001/7002的总线命令驱动一次扫描。

闭合7011开关卡上VCSEL#1和PD #1对应的通道。在经过延迟稳定时间后，输出触发通过#1线发送到两台2400型源表（SDM周期中的“源前”触发）。

源表开始其“源－延迟－测量”周期。第一台2400型源表向VSCEL #1输出一个正偏电流；第二台2400型源表向PD #1输出一个负偏电压。

经过可编程的延迟时间后，第二台2400型源表测量PD #1产生的漏流。在其测量阶段结束时，该源表通过 # 2线向开关主机发送一个输出触发（SDM周期的“测量后”触发）。

7001/7002开路所有通道，然后闭合VCSEL#2和PD #2相对应的通道，并触发源表仪器。

对所有的DUT执行以上步骤。当然，在每次测量后，探针必须连接到晶圆上的另一个器件，并且探测器定位于器件的上方。