用激光平面千涉仪测量光学平板玻璃的平行差

利用平板玻璃自身的千涉条纹来判断平板玻璃的薄厚端

　　由于等厚干涉条纹所对应的光程差，完全是由厚度所决定的，而同一条干涉条纹对应同一光程差数值，也就是对应被测玻璃板同一厚度的地方，所以等厚干涉条纹可以看成是被测玻璃板的等厚线。很显然，当玻璃两表面度良好时，等厚干涉条纹的方向是与两表面相交梭线平行的

　　图5示出了干涉条纹密集的一端是平板玻璃的厚端，而干涉条纹光带宽的一端为薄端。不同厚度的地方有不同的光程差。而当两表面是低光圈时，光圈心向的方向为薄端，背向的地方为厚端，见图6。其因为低光圈时，两面的干涉条纹都向薄的地方偏向，所以出现了心薄的现象。

　　如果两表面均为高光圈或偏高时，其结果正好相反，即心向的方向为厚端，背向之为薄端，见图7。

　　以上几种情况还可以此类推来判断各种类型的薄厚端。

用激光平面干涉仪检验成盘平板玻璃的平行差

　　1.对采用在光胶垫板上加工平行平板玻璃，测量时，如果光学垫板的平行差较高，则可直接观察光学垫板和平板玻璃自身的干涉条纹，与单块平板玻璃同样对待。因为零件的底面和垫板上表面是由光胶而重合为一体，所以就很容易根据自身条纹来判断平行差大小和薄厚端。

　　2.但有时光学垫板本身平行差就低，此时我们可以采取给垫板背面涂上一层洋干漆的方法，来阻止垫板底面反射象的出现，只剩下垫板的上表面与零件的上表面反射象，先用单管测角仪测出两象分开的大小，并且垫板象在那边那边厚，因为第生面反射回的象是偏向厚的一方。当用单管测角仪观察两象完全重合时，这只能断定平行差达到了6”。如果需要更高精度时，人眼已无法区别，此时就需采用激光平面干涉仪来测定。

　　3.使用激光平面干涉仪测定成盘玻璃的平行差时，是利用垫板的上表面和玻璃上表面，采取比较干涉法来测定。