长野计器开发利用金属玻璃的压力传感器
——
金属玻璃是一种具有像玻璃一样的非晶质构造的材料。由于没有结晶粒界,所以具有比原有结晶质合金更高的弹性及耐腐蚀性。在与玻璃相同的高温下,可轻松变形,因此可利用铸造等手段进行精密再现。
在此次的研究中,开发出了适用于压力传感器感压部的金属玻璃及其成型加工方法。在金属玻璃的种类方面,分别面向高灵敏度用途及高耐压用途,设定了锆基型和镍基型。通过利用金属玻璃出色的再现性,实现了比直径为5mm的原产品更小的体积。另外,在加工方法上,还开发出了“适于金属材料的薄膜应变计新蒸镀方法”以及“面向接头部件的新接合方法”。通过利用上述方法,实现了约为原来4倍的高灵敏度,以及为原来2倍以上的高耐压性。
该研究作为日本经产省“革新材料产业创出项目”,受日本新能源产业技术综合开发机构(NEDO)委托,通过“金属玻璃成形加工技术项目”实施。在研究过程中,得到了日本东北大学校长井上明久以及青山制作所茨城工厂(总部:茨城县常陆那坷市)等的协助。
评论