完善超纯水系统提高IC制造良率

超纯水制取系统是为了去除一次纯水处理系统中残留的微量杂质而设置的，值得注意的是，超纯水制取系统在去除水中各种杂质的同时，如何保证去除设备因自身材质而引起的污染应引起人们的高度关注。也就是说，一个完整的超纯水系统，不但要有合理的制水流程，而且还要对每个处理设备自身的微量溶出问题进行研究。此外，超纯水的输送方法，配管、阀门材质的选定也应引起人们的高度重视。

　　超大规模集成电路清洗设备要求的水质几乎均为超纯水，这些清洗设备用水点的排水几乎全部可以回收，经回收处理后的水一部分可以作为冷却塔和废气洗涤塔的补水，另一部分可以与超纯水制备预处理系统的出水一起进入预处理水池，作为超纯水制备的补充水。目前，在实际工程中，水的回收率可以达到70%。要使回收水系统达到良好的处理效果，除了需要确定合理的处理流程外，生产设备排水的分类收集也是非常重要的，这样做，可以防止高浓度TOC和其他不纯物质进入回收水系统。