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灵敏度(SENSITIVITY)－ 仪器所能检测得到的信号中的最小变化量。

分辨率(RESOLUTION)－ 仪器所能检测到的最小信号所占的比例分量。

重复性(REPEATABILITY)－ 在相同测试条件下相邻的成功测量结果之间的一致性。

再现性(REPRODUCIBILITY)－ 在给定的变化条件下，相同量值测试结果之间的一致性。

绝对准确度(ABSOLUTE ACCURACY)－ 测量结果与被测量真值或其标准认定值之间的接近程度。准确度常被分成增益和偏置二项。

相对准确度(RELATIVE ACCURACY)－ 用被测值与参考值之间的相对关系表示出的测量准确度。

误差(ERROR)－ 与被测量值的真值相比测量的偏差（差值或比值）。请注意真值就其本质而言是不可确定的。

随机误差(RANDOM ERROR)－ 受随机分布误差影响的大量测量结果的平均值与真值的偏差。

系统误差(SYSTEMATIC ERROR)－ 受系统自身分布误差影响的大量测量结果的平均值与真值的偏差。

不确定度(UNCERTAINTY)－ 对测量中可能产生的误差的评估，即估计与被测量的实际量值可能产生的偏差范围。不确定

度与准确度相反。

精度(Precision)是一个与这里定义的许多术语相比更加定性的指标，指测量中不确定性的程度。适用于可重复性或可复现性测试等场合，而不适用于在其他应该用准确度（ACCURACY）的场合。