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基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰

• 海洋光学（Ocean Optics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。实验配置：实验采用光学发射光谱（OES）方法，分别使用紫外波段的ST微型光谱仪、通用型SR4光谱仪以及高分辨率的HR4和HR6光谱仪进行测试。所有光谱仪均配置了25µm的狭缝，积分时间设定为1秒，平均次数设置为1，滑动平均设置在0-1之间。根据具体使用情
• 关键字：光学发射光谱法等离子体海洋光学