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单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统

• 摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电路可测物体的运动加速度，加速度计的分辨率可达2-18。 关键词：电容式传感器；MEMS；信号调理；检测电路 电容式传感器工作原理 　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图
• 关键字：单电容式差分电容式MEMS传感器200803