- 市场研究机构Frost & Sullivan公司最新报告称，目前MEMS测试设备价格高昂，低成本标准化成迫切需求。 报告称，2007年全球MEMS测试设备市场额为5650万美元，而到2014年将增长到1.202亿美元。目前MEMS器件制造商必须面对高昂的设备价格（约100万美元），设备的专用化（customization）也导致了卖主进一步增加成本，另外，MEMS测试设备缺乏灵活性，多数仅能进行电学测试或机械测试。 因此，多数MEMS厂商除非必须才会购买测试设备，而多数用户
- 关键字：MEMS测试设备
- MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。后来的电路则
- 关键字：发展历史技术MEMS
- 在仿生推进机理的研究中，精确测量鱼类尾鳍拍动参数对于鱼类仿生推进机理研究及工程应用具有重要的意义;然而，目前研究者大多采用分析高速摄像机拍摄的图像获得参数的观测方法。这种方法受到环境与设备的限制，结果精确度较差。本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动参数的精确测量，为国内首次利用MEMS器件进行的活体鱼尾鳍拍动参数测量实验打下了基础，为机器鱼仿生推进设计理论提供支撑。 1 设计要求和系统结构 根据活体鱼类的生物特征和实验本身的特
- 关键字：ARM MEMS
- 基于MEMS的闪耀光栅数字微镜显示技术是一种全新的显示技术, 它的基本工作原理为：平行的复合白色光线以固定的入射角照射在闪耀光栅微镜阵列上，驱动电路驱动每个像素单元的闪耀光栅微镜偏转不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可见波长的光线经过成像镜头后形成彩色画面。 微镜结构设计的基本要求 闪耀光栅数字微镜显示技术的核心部件是闪耀光栅数字微镜。要达到便携应用和投影应用的目的，闪耀光栅数字微镜结构设计需满足以下基本要求。 尽可能减小显示单元的尺寸 为了得到准确的基色，要求
- 关键字：MEMS闪耀光栅数字微镜结构驱动
- 摘要：传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电路可测物体的运动加速度，加速度计的分辨率可达2-18。 关键词：电容式传感器；MEMS；信号调理；检测电路 电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图
- 关键字：单电容式差分电容式MEMS传感器200803
微电子机械系统(mems)介绍
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