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理解电弧能的测量、对比和控制方法

• 随着薄膜产品对品质和性能指标要求的增加，现代等离子体薄膜沉积工艺必须考虑到电弧不可避免的影响，并将尽可能减轻电弧导致的损坏。对于大多数等离子体工艺而言，识别、测量和限制打弧发生期间传输到等离子体内的能量大小一直是需要考虑的最重要因素之一。本文列出了常见电弧事件的电气特性，描述了可重复测得电弧能的方法，提供了一些利用先进等离子体电源通用特性来减少电弧发生时传输到工艺中电弧能量的技术，并给出支持这些技术的实验数据。01. 简介现代薄膜工艺工程师一直面临在不牺牲薄膜品质、性能和产率的前提下如何提高等离子体工艺产
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