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尼得科仪器株式会社开发出适用于真空环境的液晶基板搬运机器人

• 尼得科株式会社的集团公司尼得科仪器株式会社（旧日本电产三协）开发出了能够在真空环境下工作的液晶基板搬运机器人，该机器人具有与在大气环境下工作同等的关节自由度。 在液晶面板和有机EL等显示器的制造工艺中，为了同时实现生产成本的削减和屏幕尺寸的大型化，不断需要更大的母玻璃基板和更快的处理速度。由于可搬运的玻璃尺寸越大搬运效率就越高，因此近年来对3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬运需求不断增加。母玻璃基板的薄膜处理、蒸镀等工艺需要极高洁净度的真空环境，因此，搬运机器人也必须具备能承受真空环境的性能。&n
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