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- 关键字：中微公司12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW
- 中国上海，2023年5月9日—— 近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma Uniflex™ CW。这是中微公司深耕高端微观加工设备多年、在半导体薄膜沉积领域取得的新突破，也是实现公司业务多元化增长的新动能。 图片注释：中微公司12英寸低压化学气相沉积产品Preforma Uniflex™ CW作为中微公司自主研发的产出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD设备，Preforma U
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薄膜沉积设备介绍
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