- 由于COVID-19新冠病毒在全球的蔓延,多个行业的生产、消费都受到影响了,半导体行业也不例外。ASML公司今天宣布下调Q1季度营收预期,同时暂停股票回购,不过他们没公布EUV光刻机出货量是否受影响了。今年1月份ASML公司发布了2019年Q4及全年财报,2019年交付了26台EUV光刻机,预计2020年交付35台EUV光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。展望2020年Q1季度,ASML之前预计营收31到33亿欧元之间,毛利率46%到47%之间,研发费用约为5.5亿欧
- 关键字:阿斯麦光刻机极紫外光刻
- 在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。根据ASML之前的报告,去年他们出货了26台EUV光刻机,预计2020年交付35台EUV光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。目前ASML出货的光刻机主要是NXE:3400B及改进型的NXE:3400C,两者基本结构相同,但NXE:3400C采用模块化设计,维护更加便捷,平均维修时间将从48小时缩
- 关键字:光刻机极紫外光刻
- 在EUV光刻机方面,荷兰ASML(阿斯麦)公司垄断了目前的EUV光刻机,去年出货26台,创造了新纪录。据报道,ASML公司正在研发新一代EUV光刻机,预计在2022年开始出货。根据ASML之前的报告,去年他们出货了26台EUV光刻机,预计2020年交付35台EUV光刻机,2021年则会达到45台到50台的交付量,是2019年的两倍左右。目前ASML出货的光刻机主要是NXE:3400B及改进型的NXE:3400C,两者基本结构相同,但NXE:3400C采用模块化设计,维护更加便捷,平均维修时间将从48小时缩
- 关键字:光刻机极紫外光刻
- 在半导体工艺进入10nm节点之后,制造越来越困难,其中最复杂的一步——光刻需要用到EUV光刻机了,而后者目前只有荷兰ASML阿斯麦公司才能供应。中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机,日前该公司表示与ASML之间已解决光刻机的问题,EUV技术研发步入正轨。前不久有消息称ASML停止对中芯国际供应EUV光刻机,随后ASML公司表示不是停供,而是延期,主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。中芯国际董事长周子学日前在韩国访问,韩媒报道称周子学表态已经解决了与ASML之间就光刻机供应存在的问题,强调中芯国际在先进
- 关键字:光刻机极紫外光刻
- 掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
- 关键字:阿斯麦极紫外光刻EUV
- 新式半导体光刻技术中,极紫外光刻(EUV)被认为是最有前途的方法之一,不过其实现难度也相当高,从上世纪八十年代 ...
- 关键字:光刻胶极紫外光刻
极紫外光刻介绍
目录 1 定义 2 概述 3 背景 4 展望 定义 极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography),常称作EUV光刻,它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的软x 射线。 概述 EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源,可使曝光波长一下子降到13.5nm,它能 [
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