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MEMS移相器极其在微型通信系统中的应用

MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用第 32 卷第 4 期 2002 年 8 月 文章编号: 100423365 ( 2002) 0420241204 微 电 子 学 M icroelectron ics V o l132……
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