集成电路中的ESD保护

集成电路中的ESD保护第 26 卷第 2 期 电子工艺技术 　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 2005 年 3 月 　 Electronics Process Technology

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集成电路中的 ESD 保护
王　 猛
(天津南大强芯半导体芯片设计有限公司 ,天津 　300457 )

摘　 要 : 随着科学技术的飞速发展 、 微电子技术的广泛应用及电磁环境越来越复杂 ,对静电的 ( ) 电磁场效应 ,如电磁干扰 EM I 及电磁兼容性 ( EMC ) 问题越来越重视 。简要介绍静电放电 ( ESD ) 的产生及在集成电路工艺 、 器件中的防护措施 ,并提供了现今流行的保护电路 。 关键词 : 静电放电 ; 保护电路 ; 集成电路 中图分类号 : TN 4 　　　 文献标识码 : A 　　　 文章编号 : 1001 - 3474 ( 2005 ) 02 - 0095 - 03

ESD Protection of I C
W ANG M eng ( T ian jin Nanka i Un iversity, T i an jin 　300457, Ch ina ) Abstract:W ith the development of science and technology, w ide app lication of m icroelectronic tech2 nology and more comp lication of electromagnetic enviroment, the electromagnetic effects of static electrici2 ty, including EM I and EMC, are stressed. Introduce generation of ESD and p rotective measur