MEMSIC 攻克加速度计难题

加速度计在很多市场中都有着重要的作用。智能手机中会用到加速度计，汽车中也会用到加速度计。测量速度的变化率似乎可以有无限的应用。虽然有很多设计技术可用来创建加速度计，但 MEMSIC® Inc. 使用 Tanner 工具开发了没有可动部件的 MEMS 和 CMOS IC 技术。采用独特的热技术，通过被加热的气体分子测量加速度。
要将混合信号处理与 MEMS 器件设计到同一芯片上非常困难，不过 MEMSIC 已成功将这些技术集成到同一硅片上，并且已向各行业售出了数百万的加速度计。该公司还克服了另外两大障碍，做到了坚持使用标准 CMOS IC 工艺从而维持低成本生产并且使用 Tanner 的单套工具将开发标准化。本白皮书介绍了他们是如何完成这一壮举的。
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