离子注入

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第四章 离子注入工艺

§1 离子注入工艺设备及原理

一．离子注入工艺设备结构



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图4.1 离子注入机结构




图 4.2离子注入机原理图
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(一)射程的概念(4.3)


二、离子注入工艺原理




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此处是标题 1
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(二) 核碰撞和电子碰撞(4.4)
核碰撞