积分:0分 关键词:集成电路,双阱,CMOS,SILVACO,虚拟硅片,工艺模拟,参数提取,优化设计
积分:0分 关键词:扩散工艺,离子注入,光刻工艺,刻蚀工艺,工艺模拟,SUPREM
积分:0分 关键词:工艺模拟,SUPREM,扩散分布,氧化,离子注入