应用材料为8.5代平面显示器制造商推出高产能生产系统

应用材料公司平面显示事业部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代（2.2米x~2.5米）玻璃基板上制造大尺寸LCD电视屏幕的平面显示器生产系统。全新设计的AKT-55K EBT (电子束检测)，AKT-55K PECVD(等离子加强化学气相沉积)和AKT- NEW ARISTO™ 2200彩色滤光板溅射系统在8.5代基板上实现了制造6块55英寸LCD电视屏的高效率生产。

新的8.5代基板将会对TFT*-LCD电视市场的增长做出贡献，市场研究机Display Search预测该市场将在2006年突破4000万台。应用材料公司新业务新产品事业部和AKT事业部资深副总裁兼总经理Mark Pinto表示“应用材料公司通过其AKT事业部向客户提供个性化的产品、技术以及全球的服务支持，不断帮助他们降低平面显示器生产成本。通过起始的晶体管成型PECVD（等离子加强化学气相沉积）技术、和随后的电子束检测技术、以及现在所从事的彩色滤光溅射薄膜技术的开发，应用材料公司不断提升其在平面显示设备行业中的地位。结合我们在大面积处理工艺上的领先地位和纳米制造技术上的优势，这些新产品让我们站在了显示设备行业的最前沿，并使我们能够向客户提供高产能、低成本、和高可靠性的新一代制造技术。”

AKT-55K EBT（电子束检测）系统具有业界最快最精确的像素检测技术和最低的总体运行成本。该系统运用7个电子束提供快速精确的像素矩阵检测。无接触式的检测技术确保在测试昂贵的LCD电视面板时不会损坏或划伤表面。

AKT-55K PECVD （等离子加强化学气相沉积）系统运用了已被验证的多腔体平台结构和技术，该技术使得AKT在过去13年中成为平面CVD（化学气相沉积）设备的领导者。AKT-55K系统对于介电薄膜(SiNx, SiOx 和 SiON)及半导体薄膜(a-Si 和 掺杂了的 a-Si)作了优化，这使得它每小时可以处理超过60片单层薄膜基底。

AKT-NEW ARISTO 2200是用于彩色滤光片制造的具有最高产能和靶材利用率的全自动垂直溅射系统。它基于源自Applied Films领先的NEW ARISTO系统概念，采用创新的低缺陷高成品率平面阴极设计，提供了业界最高的生产能力。