微电子50年—新中国半导体事业的坎坷路

　　不知道经过了多少不眠之夜，中功率管终于质量和数量全达标了，而且还帮助兄弟组做了引导二极管。整体微型机研制进展也非常快，到了66年8月即研制成功了，还会唱东方红!在2007年的一天，我逐个在一楼大厅仔细看了所历史长廊的画卷，突然一幅图片在我面前出现，令我惊呆了!这就是“156”组件计算机!从来没有看到过啊!这就是我们曾经用青春和热血灌溉过的156!这就是在浩瀚的夜空中追逐星空寻找的“156”!心情顿时激动了起来。旁边的注释是：156组件(集成电路)计算机是1966年8月研制出的我国第一台自行研制的空间计算机，1966年国庆，向国家报喜，得到周总理的表扬。此时，我已不禁热泪盈眶。

　　创业路、路漫漫

　　69年12月由于156迁内地，70年计算所又筹建集成电路研究室，71年1月1号我被调回计算所，同时成立了十一室(集成电路研究室)由沈世刚与我负责，1973年7月启动了013大型通用计算机的研制，是我国计算技术创始人之一的王正负责。他亲切地对我说：“013机的咽喉是半导体通导存储器，由你们室负责研制”。面对着更年青的队伍，我心中既兴奋又有点害怕，好在156精神依然在我们的血液中流动。虽然国外封锁厉害，很难找到资料，但我们靠顽强的拼搏，一点一点的摸索，终于完成了任务，研制成功的存储器性能稳定。013机76年也通过了鉴定，投入了使用，获1978年全国科学大会重大成果奖，77年所里将电路预研组调入我室，其组长是所知名的电路设计专家沈亚城同志，而且任命吴几康研究员为室主任。他是53年回国的专家，156时，是十三室主任，专门研究集成电路计算机(79-83年提升为计算所副所长)。任命沈世刚、我、沈亚城、许新武为副主任，沈世刚协助吴几康抓总，我负责集成电路、器件及工艺、研制芯片，沈亚城负责巨型机所用的电路设计，许新武为行政兼改造约1500M2的芯片研制净化小楼。室已初具规模了，77年12月，所承担了千万次大型机757任务，王正仍是负责人。他说：“一定要给十一室一个项目”。因此我们分析当时各种不同电路的特性：ECL虽然快，但功耗太大，CMOS虽然集成度高，功耗小，但因为Latch-up效应尚未彻底解决，造成了成品率低，只剩下I2L电路了，其规模可大，功耗亦小，而速度太低，我们从器件原理、工艺原理的分析中，发明了P+-N-P+型高速I2L新结构，并研制成功了256ROM，与六室外设合作，成功用于757外设的打印机中，为757工程增加了独立自主研制成功的新集成电路。1983年11月757千万次机通过了国家级鉴定，获得国家科学进步一等奖，我们以“集成电路和工艺P+-N-P+型高速I2L新结构”的项目获得1980年院科技成果二等奖，沈亚城负责的电路预研组的“高速低功耗ECL电路系统”的项目亦获1980年院科技成果二等奖。

　　1983年6月，所里将十一室命名为大规模集成电路室，当时已有6个组，约70-80人，而且已入住改造成功的，位居南楼与北楼中的芯片研制净化小楼，正准备甩开手大干一番。当时北师大有一个“浅结离子注入”项目，我们参加了，研究多晶硅掺杂发射极晶体管及全离子注入晶体管，已有很大的进展。准备提供更高速度的电路(该项目后获北京市科技成果二等奖)，但在84年末，科技处周洁来问我：计算所要不要研究大规模集成电路?令我大吃一惊!立即斩钉截铁的回答：计算所若不进行芯片研究，今后做计算机设计的人只知道用芯片，里面是什么都不知道了，怎么能设计一台好的计算机呢?然而不久，所领导正式把我们召去说：“所里经费太紧张，拿不出钱支持大规模集成电路的研究……”我知道他的意思了，一走出北楼门口，忍不住失声痛哭了，难道我们呕心沥血十几年创建的研究室就这样结束?计算所今后设计计算机的人真的只能看到黑匣子，而里面是什么都不懂了?难道计算所今后真的走向了“无芯”的未来?在万般无奈中，我把最后一个同事安排好工作岗位后，毅然到微电子中心报到了，此时已是86年年底。87年3月6号，计算所正式撤消了大规模集成电路研究室，结束了这段无法忘怀的历史。

　　微电子中心成立于1986年年底，又是一个初创的研究所，由三部分组成：半导体所及部分计算所做集成电路的人以及109厂。一天科技处的人通知我去电子部开一个项目研究会，主持人问我：你是哪个单位的?我如实回答，岂料他说：“你们科学院另有经费，不必在这里挂了”，令人失望啊!后来我找到他的上级说：“我们不要经费，只要一个项目，到时按时交帐，如何”?大概他被我的精神感动了，不仅给了项目还给了三万元经费。自此，我就和我的合作者陈晓东同志投入了CAD的研究，但此时我已50岁了，阅读门阵列的描述语言，像读天书，一句一句啃，一咬牙，下决心：从零开始，甘于寂寞，乐于清贫，从此潜心识规律，风华正茂更如前;三十年啊三十年，弹指一挥笑作别。

　　幸运的是：正好一家与日本人合资的厂家生产洗衣机，他们登门求教，希望帮助研制控制洗衣机的芯片，因为日本人什么都给，唯独洗衣机的芯片设计不给，只卖芯片，奇贵无比。我大胆地接下了这任务，开始全身心的用CAD方法设计了这块芯片，日日夜夜解决难题，有时晚上甚至跳铁门的墙回家，终于研制成功。单位生产处已计划一年生产几十万片。但日本人却降价到四块钱一片，若生产，要赔钱。我不禁感叹，难道我们工作的价值就是逼别人降价?