Imec和Coventor在MEMS和IC设计与制造领域展开合作

　　领先的MEMS设计供应商Coventor和纳电子研究中心imec共同宣布战略合作，以改善和拓展CMOS和MEMS集成技术的设计与制造。合作将包括双方研发路线的统一，及研究内容的互补。双方将共同为imec的SiGeMEMS-above-IC工艺开发工艺设计包。