应用材料公司在线电子束检视系统加速显示产品开发
作者/ 金旺 电子产品世界编辑
本文引用地址://m.amcfsurvey.com/article/201611/340869.htm应用材料公司在“北京2016国际显示高峰论坛”上展示了他们面向显示行业的高分辨率在线电子束检视(EBR)系统,该系统能显著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度,更快地将新型平板显示产品推向市场。
随着半导体制程进入次微米,上世纪90年代,扫描电子显微镜检视解决方案(SEM)取代了光学检视,如今半导体工艺制程的在线SEM检视率为90%。目前的显示行业, 我们仍依赖传统离线SEM,而离线SEM检视技术现在仍面临以下不足:
1)需要镀金属/C60镀膜;2)检视过程需损坏产品;3)检视周期长;4)样本率低;5)信息流失,客户无法得到完整信息。
应用材料公司用于OLED和高分辨率LCD的电子束检视系统结合大尺寸真空技术平台和半导体SEM技术,克服了离线SEM检视技术的不足,可以低电压、无损伤、快速地完成检视的整个流程。“由于离线SEM技术需要对样品切割、镀膜等步骤,这不仅损坏了器件,还会大大降低工作效率,对于一个熟练的技术员,一天最多只能检测20个样本,而EBR不需要切割玻璃和镀膜,一个技术员一天可以完成上千个样本检测,检测到的缺陷可以继续后续制程的处理,观察该缺陷是否是致命缺陷。同时,EBR系统可以检测到AOI(Automatic Optic Inspection,自动光学检测)设备无法检测到的缺陷,进行缺陷或颗粒成分分析,能够更精准地找到缺陷根源。”应用材料公司显示产品事业部良率技术部总经理Peter D. Nunan介绍称,“对于我们来说,速度是最重要的,现在一个小时可以检测一百个缺陷,未来十年内我们将不停地加快速度,对于我们的客户来说,EBR系统将会成为他们应对新技术挑战,提高产能和产品良率的利器,减少解决难题所需的时间。”
EBR检视技术适用于工艺和缺陷检测、构成分析、LTPS颗粒结构检测和CD测量等。其低电压检测技术不会损伤产品,同时,EBR检测设备快速的检测速度将不断加速新型显示器工厂的产能爬坡。(旺)
本文来源于中国科技期刊《电子产品世界》2016年第11期第83页,欢迎您写论文时引用,并注明出处。
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