Bosch选择Lam Research的刻蚀系统用于MEMS制造

全球领先的半导体晶圆制造设备供应商Lam Research近日宣布RobertBoschGmbH选择了其TCP 9400DsiE深硅刻蚀系统。Bosch是全球领先的MEMS传感器制造商，特别专注于汽车传感和消费电子市场。