1 、 chuck( 载盘 ) 中心孔径 250um ， 其间开有 2 “ 4 ” 6 “ 真空吸槽，可吸附 6 （ 8 ）英寸以下之 wafer 及单颗 IC 。

2 、 X-Y stage 满行程移动范围 6 （ 8 ）英寸，即 chuck 的任意边缘点都可以移至显微镜中心点进行量测 。

3 、 X-Y 采用 huged-knob 设计，操作便利，并且 lead screw 采用美国进口，防止 backlach 现象，进而很好的保证了

1um 的移动精度。

4 、显微镜 X-Y-Z 三个方向可以移动，移动范围 50*50*50mm ，移动精度 1um 。

5 、显微镜有专用的把手，可以把显微镜抬起，便于镜头切换。

6 、 Platen 采用 6 点支撑，稳固耐用很好的保证了升降的水平效果；并且设有快速 lever 及 Fine Adjusted Knob, 方便

user 使用 probe card

7 、 Chuck 有快速 导入导出 功能， 人性化的上下料，并且在测试时可以锁住，保证测试的稳定性。