Agilent B1500A半导体器件分析仪
目前,利用扫描探针显微镜(SPM)技术的纳米探测已能使用压电致动器达到纳米级(9-10 nm)的探测水平。这篇应用指南将为您介绍一种新的失效分析技术,这项技术使用一种流行纳米探针,来自日立高科技公司制作的N-6000精细结构器件表征系统,以及Agilent B1500A半导体器件分析仪。N-6000可以直接接触集成电路内的器件,从而有助于弥补物理和电气失效分析技术之间的差异。5989-5927CHCN.pdf
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