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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。

关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run）

所需工具：Grating Toolbox Basic

相关Tutorials：G.001; G.014

建模任务

理想平面波照射

镀膜倾斜光栅

目标平面

周期：10um

厚度：10um

倾斜角度：20度

光栅的参数

—倾斜角度1—（光栅）前面的介质

—填充因子2—后面的介质

—膜层厚度3—膜层材料

—光栅厚度

设置层数和转折点

²设置层数和转折点以确定膜层

²可以通过Structure Preview按钮查看

实现可编程光栅

参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）

参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）

参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）

²双击

Data Series Diagram

采样结果

可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.