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本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生

关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图

所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。

相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2

建模任务

照射光束强度衍射扩散器产生的光图样强度

建模任务

²扩散器参数：

—相位层：4

—像素尺寸：

830*830nm

—口径：1*1mm

—周期：664,83*664,83um

²结构数据输出为二进制格式

²需要的高度分布计算

²蚀刻掩模分解

²蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件

打开光学扩散器系统

光学扩散器系统

模拟结果

²扩散器系统产生的光图样强度分布

传输器提取