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　　美国应用材料(AMAT)发布了可从硅锭上切出120μm厚太阳能电池用晶圆的线锯设备“Applied HCT MaxEdge”。AMAT表示，使用该装置可减少每枚晶圆的硅用量等，所以可将多晶硅型太阳能电池单元的制造成本降低约0.18美元/W(假设多晶硅的价格为55美元/kg时)。

　　Applied HCT MaxEdge可在不降低产量的情况下切割出较薄的晶圆。切割负荷比该公司原装置“Applied HCT B5”可增大45%。两装置均采用以两根金属线切割的方法。但新产品具有可控制金属线张力的功能，切割较薄的晶圆时可使用更细的金属线。

　　使用原来的金属线时，要制造较薄的晶圆，必须控制施加硅铸锭上的负荷和切割速度。因此，难以兼顾高产和晶圆的薄型化。

　　太阳能电池单元厂商通过减薄晶圆，减少了每枚晶圆的硅用量，从而降低制造成本。但因变薄了的晶圆易碎裂，因此在切出晶圆后的制造工序中存在无法确保高成品率的问题。(

关键词：AMAT硅晶圆