AMAT发布触摸面板用制造装置
美国应用材料(AMAT)于当地时间2011年4月12日发布了触摸面板用溅镀设备的新产品“AKT Aristo Twin”。其特点是,1台设备中拥有两个独立的成膜室,能够同时分别形成薄膜。处理能力提高到了原来的约2倍。
此次的新产品最大支持2200mmx2500mm的基板尺寸。在玻璃基板和硬质塑料基板上都可以成膜。该产品是在该公司在全球拥有175台供货业绩的彩色滤光片及触摸面板用溅镀设备“AKT New Aristo PVD”的基础上开发而来的。
AMAT公司副总裁兼平板显示事业部总经理Tom Edman表示,此次发布的触摸面板用溅镀设备“已向中国大陆和台湾的主要触摸面板厂家供应了数台”。
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