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应用材料公司在线电子束检视系统加速显示产品开发

• 作者/ 金旺 电子产品世界编辑　　应用材料公司在“北京2016国际显示高峰论坛”上展示了他们面向显示行业的高分辨率在线电子束检视(EBR)系统，该系统能显著提高OLED、UHD液晶屏制造商良率提升的速度，更快地将新型平板显示产品推向市场。　　随着半导体制程进入次微米，上世纪90年代，扫描电子显微镜检视解决方案(SEM)取代了光学检视，如今半导体工艺制程的在线SEM检视率为90%。目前的显示行业， 我们仍依赖传统离线SEM，而离线SEM检视技术现在仍面临以下不足：　　1)需要镀金属/C60镀膜;2)检视过程
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