- 半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社(母公司：栃木县小山市，董事长：浦中克己)宣布，为提高设备的工作效率，公司将制定新的产品规划图，以应对需求量不断高涨的半导体厂家的要求。 Gigaphoton此次制定的产品规划图“RAM Enhancement”加强了DUV光源受激准分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可维护性(Maintainability)。公司已经开始行动，将在2020年前打破被业界定位为极限的&l
- 关键字：GigaphotonDUV
- Gigaphoton公司18日宣布已经成功将LPP EUV光源产品的输出端等效最大功率推进到了20W水平。该公司达成这个目标所使用的方法是，使用固态预脉冲激光器，100khz频率的CO2激光来轰击锡靶标。采用这种方法，该公司在光源运行过程中达成了平均 10W水平的输出功率。由于目前普遍认可的预生产型商用EUV光源输出功率级别正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果标志着预生产极 EUV光源发展过程中的一个新里程碑。 Gigaphoton公司
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- 日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已终止有关光源合资企业Gigaphoton的合作协议。Komatsu将从Ushio手中买下50%股权。未来Gigaphoton将成为Komatsu的全资子公司。而此举会为EUV的未来投下何种变数仍有待观察。
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