- 摘 要:本文简述了RF 功率 MOSFET器件的应用,分析了以LDMOSFET工艺为基础的RF 功率 MOSFET的功能特性、产品结构和制造工艺特点。文中结合6寸芯片生产线,设计了产品的制造工艺流程,分析了制造工艺的难点,并提出了解决方案。关键词:RF 功率 MOSFET;LDMOSFET;器件结构;制造工艺 引言RF 功率 MOSFET的最大应用是无线通讯中的RF功率放大器。直到上世纪90年代中期,RF功率MOSFET还都是使用硅双极型晶体管或GaAs MOSFET
- 关键字:LDMOSFETMOSFETRFRF专题电源技术功率模拟技术器件结构制造工艺
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